ម្សៅស៊ីលីកុនម៉ូណូអុកស៊ីតមានសកម្មភាពខ្លាំង ហើយអាចប្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ការសំយោគសេរ៉ាមិចដ៏ល្អ ដូចជាស៊ីលីកុននីត្រាត និងម្សៅសេរ៉ាមិចល្អស៊ីលីកុន។
ស៊ីលីកុន ម៉ូណូអុកស៊ីត ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការរៀបចំកញ្ចក់អុបទិក និងសម្ភារៈ semiconductor ។
ម្សៅ SiO ត្រូវបានគេប្រើជាសមា្ភារៈថ្មលីចូម។